在使用真空淬火爐進行油淬熱處理的過程中，在低真空的壓強下面，真空淬火油的冷卻能力下降，對于某些鋼來說，可能達不到淬火的目的。為此，在使用真空淬火爐淬火前需要向淬火室內充入高純的中性或惰性氣體，在油面上造成一定的壓強，就可以實現鋼的充分淬火并獲得光亮的表面。能夠獲得與在大氣壓下相同的淬火硬度的Z低液面壓強稱為臨界淬火壓強。臨界淬火壓強與真空淬火油的特性和鋼的淬硬性有關。

在使用真空淬火爐對淬硬性較差的鋼進行淬火時，應該選用先充氣后入油的方式進行淬火。油面壓強應該高于臨界淬火壓強。一般調節在5×104Pa左右，但是不宜低于1.0×104Pa。對于中等淬硬性的鋼也應該采取先充氣后入油的方式進行淬火處理。油面的壓強可以調節在1.0×104Pa左右，但是不能低于5×103Pa。淬硬性很好的鋼可以采取充氣或者不充氣的方式進行淬火，采取充氣的方式，可以在真空爐的加熱室先充氣后入油，也可以先入油后充氣。采取先充氣的方式時充氣壓強可在（2.5~5）×104Pa范圍內選定。為了防止和減少蒸汽進入并污染真空淬火爐的加熱室，應該選用較高的充氣壓強，所用的氣體應為高純的中性或惰性氣體。采取后充氣的方式，可以充純度較低的氣體，充氣壓強也可以低一些。采取不充氣的方式進行淬火，就是工件入油前后均不充入中性或惰性氣體。