真空爐爐膛內的壓力能抽成低於大氣壓力的工業爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件外表不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質﹐成品針孔少﹐偏析小﹑質量好。真空爐適用於高質量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的鍛煉和磁性資料﹐電工資料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。真空爐呈現於20世紀30年代前后。1927年美國製成電工資料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業上已用於熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年美國研製成油淬真空爐。

真空爐一般由爐膛﹑電熱設備﹑密封爐殼﹑真空體系﹑供電體系和控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封資料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封資料受熱變質﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位於密封爐殼內。根據爐子用途﹐爐膛內部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝﹐有的還裝有主動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵﹑真空閥門和真空計等組成。

二十世紀50年代，無芯感應爐得到迅速發展。后來又呈現了電子束爐，使用電子束來沖擊固態燃料，能強化外表加熱和熔化高熔點的資料。用于鑄造加熱的爐子Z早是手鍛爐，其工作空間是一個凹形槽，槽內填入煤炭，焚燒用的空氣由槽的下部供入，工件埋在煤炭里加熱。這種爐子的熱效率很低，加熱質量也不好，而且只能加熱小型工件，以后發展為用耐火磚砌成的半關閉或全關閉爐膛的室式爐，能夠用煤，煤氣或油作為燃料，也可用電作為熱源，工件放在爐膛里加熱。

為便于加熱大型工件，又呈現了適于加熱鋼錠和大鋼坯的臺車式爐，為了加熱長形桿件還呈現了井式爐。20世紀20年代后又呈現了能夠進步爐子生產率和改進勞動條件的各種機械化、主動化爐型。工業爐的燃料也跟著燃料資源的開發和燃料轉化技能的進步，而由采用塊煤、焦炭、煤粉等固體燃料逐步改用發生爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料，并且研發出了與所用燃料相適應的各種焚燒設備。